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夏普率先量產IGZO TFT液晶面板


IGZO是由銦(In)、鎵(Ga)、鋅(Zn)和氧(O)構成的氧化物半導體In-Ga-Zn-O的簡稱。夏普于2012年4月在業界率先開始全面量產采用IGZO TFT(以IGZO為基礎的TFT)的液晶面板。將主要用于平板終端,供應對象被認為是美國蘋果公司的“iPad”。夏普計劃今后將IGZO TFT液晶屏幕膜機用于筆記本電腦和顯示器。這是一項可讓夏普復興液晶面板業務的技術。

IGZO的最大特點是載流子遷移率在10cm/Vs以上,比現有的TFT材料非晶硅高出10倍以上。結果,IGZO能夠以低功耗驅動高精細面板。另外,IGZO還具有透明性、可在柔性基板上低溫成膜等硅所沒有的特點。因此,IGZO在有機EL面板和電子紙領域也備受關注。

東京工業大學教授細野秀雄的團隊發現了IGZO TFT的上述潛力,并且自始至終在研發方面處于領先地位。該團隊在1996年證實IGZO TFT可實現超過10cm/Vs的高水平載流子遷移率,2004年在柔性基板上制作出了IGZO TFT。

這些成果成為日本國內外企業著手開發IGZO TFT的契機。佳能、韓國LG電子、OLED屏幕保護膜貼膜機韓國三星電子和凸版印刷等企業,從2005年前后著手IGZO TFT的開發工作。最初大多用于不到10英寸的小型面板,而近來達到實用化水平的成果逐漸增加,比如2010年三星開發出了70英寸的液晶面板。夏普一直與日本半導體能源研究所共同推進IGZOTFT的開發,但此前并未積極地發布開發成果。

此次夏普開始量產IGZO TFT液晶面板后,今后估計韓國和臺灣廠商也會相繼量產。其中,三星平板手機保護膜貼膜機已在2011年7月就針對細野等人的研究成果為基礎的IGZO TFT技術專利群,從日本科學技術振興機構(JST)獲得了授權,由此可以看出三星量產IGZO TFT液晶面板的姿態。

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